Рабочие листы
к вашим урокам
Скачать
1 слайд
Электрические характеристики разряда в CH4:H2 газовой смеси
Устинов А. О., Золотухин А. А., Волков А. П., Образцов А. Н.
Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, физический факультет, Москва. E-mail: obraz@acryst.phys.msu.ru
2 слайд
Введение
Активация газовой фазы посредством инициации электрического разряда является одним из наиболее распространенных методов, используемых при газофазном химическом осаждении (ГФХО). При этом характеристики получаемой плазмы и стабильность разряда зависят от многочисленных параметров и определяют возможность получения ГФХО пленок с заданными характеристиками. В данной работе проводились исследования вольт-амперных характеристик плазмы разряда постоянного тока в газовой смеси метана и водорода.
В работе анализируются модельные представления, описывающие процесс осаждения углеродных пленок из газовой фазы.
3 слайд
высоковольтный блок питания
H
2
CH4
регуляторы расхода газа
насос
подложка
анод
катод
металлическая камера с
водяным охлаждением стенок
Конструкция установки
4 слайд
Схема процесса газофазного осаждения
катод
+
-
плазма
подложка
анод
5 слайд
Общий вид вольт-амперной характеристики газового разряда
Зона стабильного разряда
Зона срывания в дугу
Зона растекания разряда по аноду
6 слайд
Вольт-амперные характеристики газового разряда при различных параметрах
U, В
U, В
I, A
I, A
Вольт-амперные характеристики газового разряда при давлении 80 Torr и концентрации метана 0, 2, 4, 8 и 15% в газовой смеси
Вольт-амперные характеристики газового разряда при концентрации метана 8% и давлении 50, 60, 80, 100 и 110 Torr газовой смеси
7 слайд
Эмпирическая формула
U(I,P)=kIP+dP+aI2+bI+c - эмпирическая зависимость напряжения между электродами от силы тока и давления
k =- 0,3094
d = 3,1163
а = 4,1835
b = -12,046
c = 422,23
8 слайд
Модель осаждения углеродных пленок
C2
C2
C2
1
2
3
4
5
1), 2) формирование углеродных кластеров разных типов
3) рост графенового листа
4) механическая нестабильность графенового листа
5) закручивание графенового листа в нанотрубку
9 слайд
Результаты
В результате исследования были определены границы стабильности разряда, выявлена взаимосвязь электрических параметров разряда (напряжения и тока) с давлением и составом газовой смеси. Полученные экспериментальные данные позволили установить эмпирическую формулу, описывающую их взаимосвязь с межэлектродным напряжением и током разряда. Также в работе была приведена модель осаждения углеродных пленок.
Рабочие листы
к вашим урокам
Скачать
6 665 143 материала в базе
Настоящий материал опубликован пользователем Акименко Наталья Александровна. Инфоурок является информационным посредником и предоставляет пользователям возможность размещать на сайте методические материалы. Всю ответственность за опубликованные материалы, содержащиеся в них сведения, а также за соблюдение авторских прав несут пользователи, загрузившие материал на сайт
Если Вы считаете, что материал нарушает авторские права либо по каким-то другим причинам должен быть удален с сайта, Вы можете оставить жалобу на материал.
Удалить материал
Ваша скидка на курсы
40%
Курс профессиональной переподготовки
600 ч.
Курс профессиональной переподготовки
300/600 ч.
Курс профессиональной переподготовки
300/600 ч.
Мини-курс
3 ч.
Мини-курс
3 ч.
Оставьте свой комментарий
Авторизуйтесь, чтобы задавать вопросы.